産(chǎn)品詳情:

 

型号	YP1731 設備名(míng)稱晶圓AOI
類型	晶圓髒物(wù)檢測
外形尺寸	800*950*1400mm  (WxDxH)
晶圓台面高  度	850mm
适應産(chǎn)品規	格 8寸  (小(xiǎo)尺寸需改承載台部分(fēn))
定位精(jīng)度	±0.03mm  (X,Y)
定位精(jīng)度	±0.05mm  (Z)
重複精(jīng)度	±0.02mm  (X,Y)
視覺系統	500萬像素黑白CCD，  遠(yuǎn)心鏡頭，      點光源
最小(xiǎo)缺陷尺	寸 3um
工(gōng)控系統	自主研發動作(zuò)軟件
工(gōng)廠要求	電(diàn)壓：  220V，  50Hz  真空：  80-99Kpa
設備功率	900W